ZH221型四探針電阻率/方阻測試儀

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產品名稱: ZH221型四探針電阻率/方阻測試儀

產品型號: ZH221

產品展商: ghitest

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簡單介紹

嚴格按照硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）及標準設計制造，并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進是用來測量半導體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架及四探針頭組成。

ZH221型四探針電阻率/方阻測試儀 的詳細介紹

嚴格按照硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）及標準設計制造，并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進
是用來測量半導體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點是主機配置雙數字表，在測量電阻率的同時，另一塊數字表（以**之幾的精度）適時監測程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，*及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩定。本機配有恒流源開關，在測量某些箔層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生，*好地保護箔膜。儀器配置了本公司的產品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數據處理器，測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。
2、主機能數
（1）測量范圍：
可測電阻率：0.0001～19.9999cm
可測方塊電阻：0.0001～1000Ωcm
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續可調
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流精度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數字電壓表：
測量范圍：0～19.999mV
靈敏度：1μV
基本誤差：±（0.004%讀數+0.01%滿度）
輸出電源：≥1000ΩM
（4）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W
（5）使用環境：
溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%
*較強的電場干擾，*強光直接照射
（6）重量、體積：
主機重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×高度）

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