產品資料

ZH5497型箱式多弧磁控鍍膜機

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產品名稱: ZH5497型箱式多弧磁控鍍膜機
產品型號: ZH5497型
產品展商: ghitest
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簡單介紹

該鍍膜機可鍍制不銹鋼,鉻,鎢等多種金屬,也可鍍制合金膜或化合物,也可在工件表面上鍍制單層或多層介質膜或金屬 ZrN TiCN TiAIN等硬質或裝飾涂層,具有鍍膜速度快,膜層好的優點。


ZH5497型箱式多弧磁控鍍膜機  的詳細介紹
箱式多弧磁控鍍膜機 
型號:YQDH-900DZX
貨號:ZH5497

   該鍍膜機可鍍制不銹鋼,鉻,鎢等多種金屬,也可鍍制合金膜或化合物,也可在工件表面上鍍制單層或多層介質膜或金屬 ZrN  TiCN  TiAIN等硬質或裝飾涂層,具有鍍膜速度快,膜層好的優點。
1     真空室:鍍膜室尺寸900×900×1000mm3  ;箱式,前開門結構;
2     抽氣系統:機械泵:前泵70L/S;維持泵:2×-8旋片泵;羅茨泵:擴散泵:腔擴泵;分子泵﹝選配﹞
3     限真空:5×10-4Pa; 恢復真空:5×10-3Pa﹝小于20min﹞;
4     鍍膜系統:平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源;小弧源/柱弧源;
5     輔助鍍膜系統:脈沖偏壓電源。條形離子源﹝選配﹞。
6     膜厚測量系統:石英晶體膜厚監控系統﹝選配﹞。
7     進氣系統:自動壓強控制+多路流量控制系統;
8     操作方式:手動按鍵式;自動控型配置:研華工控機,80G硬盤,512內存+日本三菱PLC;15英寸液晶顯示觸摸屏界面;
9     旋轉夾具:公轉/自轉夾具,速度從0~15r/min  *可調;
10    工作烘烤:室溫~300 ℃;
11    供電電源:三相380V,50HZ。
ZH5497型箱式多弧磁控鍍膜機
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