ZH8860型薄膜方塊電阻測試儀

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產品名稱: ZH8860型薄膜方塊電阻測試儀

產品型號: ZH8860型

產品展商: ghitest

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簡單介紹

薄膜方塊電阻測試儀主要用來測量硅外延層、擴散層和離子注入層、導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻。它由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架、四探針頭及**測量軟件組成

ZH8860型薄膜方塊電阻測試儀 的詳細介紹

產品簡介:
薄膜方塊電阻測試儀主要用來測量硅外延層、擴散層和離子注入層、導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻。它由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架、四探針頭及**測量軟件組成
使用范圍
適用于西門子法、硅烷法等生產**多晶硅料的企業
適用于物理提*生產多晶硅料生產企業
適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業
適用于科研部門、高等院校及需要**量程測量電阻率的企業
產品特點
可測方塊電阻：適合檢測硅芯，檢磷棒，檢硼棒，籽晶等圓柱晶體硅
適用于西門子法、硅烷法等生產**多晶硅料的企業
適用于物理提*生產多晶硅料生產企業
適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業
適用于科研部門、高等院校及需要**量程測量電阻率的企業
測試量程大，**電阻率測試儀
主機配置了“小游移四探針頭”了一起數據的準確性
儀器消除了珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等負效應的影響，因此測試精度**提高
測量精度高，除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能
*特的設計能**消除測量引線和接觸電阻產生的誤差，   ***測量的高精度和寬的量程范圍
雙數字表結構使測量*，操作*簡便
具有**的測試數據查詢及打印功能
測量系統可實現自動換向測量、求平均值、值、值、平均百分變化率等
四探針頭采用進口紅寶石軸套導向結構，使探針的游移率減小，測量重復性**提高
采用進口元器件，留有*大的系數，**提高了測試儀的性和使用壽命
測量電流采用高度穩定的**恒流源（**之五精度），不受氣候條件的影響
具有正測反測的功能，測試結果的準確性
具有抗強磁場和抗高頻設備的性能
測量范圍
10-5 ------1.9*105 Ω?cm
10-4------1.9*104 Ω?cm
可測硅棒尺寸：長度300mm；直徑20mm（**按用戶要求*改）
輸出電流：DC0.001-100mA 五檔連續可調   測量范圍：0-199.99mV
靈敏度： 10μA
輸入阻抗：1000ΩM
電阻測量誤差：各檔均低于±0.05%
供電電源：AC 220V ±10% 50/60Hz.
推薦使用環境：溫度：23±2℃   相對溫度：≤65%

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