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ZH221四探針電阻率/方阻測試儀
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產品名稱:
ZH221四探針電阻率/方阻測試儀
產品型號:
ZH221
產品展商:
ghitest
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簡單介紹
嚴格按照硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及標準設計制造,并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進 是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。
ZH221四探針電阻率/方阻測試儀
的詳細介紹
產品簡介:
嚴格按照硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及標準設計制造,并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進
是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點是主機配置雙數字表,在測量電阻率的同時,另一塊數字表(以**之幾的精度)適時監測程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉換,*及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩定。本機配有恒流源開關,在測量某些箔層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生,*好地保護箔膜。儀器配置了本公司的產品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數據處理器,測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。
2、主機能數
(1)測量范圍:
可測電阻率:0.0001~19.9999cm
可測方塊電阻:0.0001~1000Ωcm
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續可調
量程:0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
恒流精度:各檔均低于±0.05%
(3)直流數字電壓表:
測量范圍:0~19.999mV
靈敏度:1μV
基本誤差:±(0.004%讀數+0.01%滿度)
輸出電源:≥1000ΩM
(4)供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
(5)使用環境:
溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%
*較強的電場干擾,*強光直接照射
(6)重量、體積:
主機重量:7.5kg
體積:365×380×160(單位:mm 長度×寬度×高度)
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