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薄膜方塊電阻測試儀原理
薄膜方塊電阻測試儀主要用來測量硅外延層、擴散層和離子注入層、導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻。它由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架、四探針頭及測量軟件組成
測量范圍
10-5 ------1.9*105  Ω?cm
10-4------1.9*104  Ω?cm
可測硅棒尺寸： ，長度300mm；直徑20mm（**按用戶要求%改）
輸出電流：DC0.001-100mA  五檔連續可調   測量范圍：0-199.99mV
靈 敏 度： 10μA
輸入阻抗：1000ΩM
電阻測量誤差：%檔均低于±0.05%
供電電源：AC 220V ±10% 50/60Hz.
使用環境：溫度：23±2℃   相對溫度：≤65%
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