薄膜方塊電阻測試儀

薄膜方塊電阻測試儀主要用來測量硅外延層、擴散層和離子注入層、導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻。它由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架、四探針頭及**測量軟件組成
使用范圍
適用于西門子法、硅烷法等，生產(chǎn)**多晶硅料的企業(yè)
適用于物理提*生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)
適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業(yè)
適用于科研部門、高等院校及需要**量程測量電阻率的企業(yè)
產(chǎn)品特點
可測方塊電阻：適合檢測硅芯，檢磷棒，檢硼棒，籽晶等圓柱晶體硅
適用于西門子法、硅烷法等，生產(chǎn)**多晶硅料的企業(yè)
適用于物理提*生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)
適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業(yè)
適用于科研部門、高等院校及需要**量程測量電阻率的企業(yè)
測試量程大，**電阻率測試儀
主機配置了“小游移四探針頭”，了一起數(shù)據(jù)的準確性
儀器消除了珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等負效應的影響，因此測試精度**提高
測量精度高，除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能
*特的設計能**消除測量引線和接觸電阻產(chǎn)生的誤差，   ***測量的高精度和，寬的量程范圍
雙數(shù)字表結構使測量*，，操作*簡便
具有**的測試數(shù)據(jù)查詢及打印功能
測量系統(tǒng)可實現(xiàn)自動換向測量、求平均值、，值、，值、平均百分變化率等
四探針頭采用進口紅寶石軸套導向結構，使探針的游移率減小，測量重復性**提高
采用進口元器件，留有*大的，系數(shù)，**提高了測試儀的，性和使用壽命
測量電流采用高度穩(wěn)定的**恒流源（**之五精度），不受氣候條件的影響
具有正測反測的功能，，測試結果的準確性
具有抗強磁場和抗高頻設備的性能
測量范圍
10-5 ------1.9*105 Ω?cm
10-4------1.9*104 Ω?cm
可測硅棒尺寸：，長度300mm；直徑20mm（**按用戶要求*改）
輸出電流：DC0.001-100mA 五檔連續(xù)可調   測量范圍：0-199.99mV
靈敏度： 10μA
輸入阻抗：1000ΩM
電阻測量誤差：各檔均低于±0.05%
供電電源：AC 220V ±10% 50/60Hz.
推薦使用環(huán)境：溫度：23±2℃   相對溫度：≤65%

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聯(lián)系人：劉經(jīng)理；聯(lián)系電話：010-89942170、89942167、15652257065；傳真：010-89942170

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