電容位移傳感器原理

它既能測量頻率從0--7.5KHz的機械振動位移,又可測量小至0.00２微米的機械位移和零件尺寸.測量是非接觸的,適合一般儀器不能勝任的旋轉軸式或不受力的小型.線型.薄壁或怕劃傷的精密零部件的靜態,動態和在線測量。
，指標:
量程;(平面,圓柱面) 6微米 60微米 600微米 (球面) 6微米 60微米 2.分辨率; 0.002微米 0.02微米 0.2微米
測量頻率范圍; 0--7.5KHz或0--2.5Hz(轉換)
非線性; <+0.5% 5.溫漂;0.5%/h(開機預熱20分鐘) 6.工作溫度;-10--+40度
輸出信號; + 5.1V 20MA 8.電源; ~220V 50Hz
儀器應用舉例:
1.旋轉軸的徑向跳動,軸向竄動和回轉精度
2.往復機構的運動特性和重復定位精度
3正弦波激振和抹脈沖激振中振動測量
4機械零部件的相對振動和變形
5盤類零部件的端面振擺動
6軸承間隙和油膜厚度
7線切割機床的電，絲的振動
8機床主軸熱位移與動態加載試驗測量
9檢測零部件尺寸和平直度
儀器配有九路自動巡回檢測儀,可實現一機多點測量. 傳感器能自動微調測量初始間隙,安裝方便,操作簡單,適宜測量多種材料,適應高壓.高磁場等惡劣環境

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電容位移傳感器原理

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